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Helmut Fischer · Analytik

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 600

Dünne Schichten, Spurenelemente und Legierungen: universelles RFA für kleinste Strukturen und Schichten bis 0,1 µm.

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 600

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 600

Das XDAL 600 ist ein universelles RFA-Gerät für Messungen an kleinsten Strukturen, sehr dünnen Mehrschichtsystemen, Funktionsschichten und sehr dünnen Schichten bis 0,1 µm. Die Verfügbarkeit hängt von Region und Land ab.

Wichtigste Merkmale

- DPP+-Signalverarbeitung: bis zu 50 % bessere Wiederholpräzision oder deutlich kürzere Messzeiten
- Manuell verstellbarer Probentisch für schnelles, einfaches Positionieren

Technische Daten

Messverfahren
Röntgenfluoreszenz (RFA)
Schichtdicke
Bis 0,1 µm
Probentisch
Manuell verstellbar

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