FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ WAFER

FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ WAFER

Das XDV-µ WAFER ist für die automatisierte Messung dünner Schichten und Mehrschichtsysteme auf Wafern mit 6 bis 12 Zoll Durchmesser ausgelegt. Die automatische Bilderkennung ermöglicht zuverlässiges Messen kleiner Strukturen.

Wichtigste Merkmale

- Polykapillaroptik aus eigener Fertigung: Fischer ist der einzige RFA-Hersteller mit eigener Produktion von Polykapillarlinsen
- DPP+-Signalverarbeitung: bis zu 50 % bessere Wiederholpräzision oder deutlich kürzere Messzeiten
- Automatische Bilderkennung für zuverlässiges Messen kleiner Strukturen

Technische Daten

Messfleck

Ab 10 µm (FWHM)

Optik

Polykapillar: 10 µm halofrei, 17 µm halofrei oder 17 µm mit Halo

Anwendung

Wafer 6–12 Zoll