FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

Das XDV-µ SEMI ist die optimale Lösung für die vollautomatische Inspektion von Mikrostrukturen auf Wafern. Es eignet sich für Dickenmessung und Elementanalyse von Basismetallisierungen im Nanometerbereich, C4-Lotkugeln, bleifreien Lotkappen auf Kupferpillars, kleinen Kontaktflächen und 2,5D/3D-Packaging. Es erfüllt die relevanten SEMI-Standards und ist ideal für die Prozessüberwachung in der Fertigung.

Technische Daten

Anwendung

Wafer bis 12 Zoll; kleinste Strukturen, sehr dünne und Mehrschichtsysteme

Röntgenröhre

Mikrofokusröhre Ultra mit Wolframanode (optional Molybdän), 4-fach wechselbarer Filter

Messfleck

Polykapillaroptik, ca. 10 oder 17 µm (Halbwertsbreite)

Detektor

Silizium-Drift-Detektor 20 mm² oder 50 mm², Peltier-Kühlung

Schnittstellen

Standardisierte SECS/GEM-Kommunikation