Labsys Ljubljana d.o.o.
OpremaRabljena opremaNajamSustavi i testoviRješenjaServisNaša pričaKontaktReferenceNovostiUpit
HR
labsys@labsys.si · +386 1 2862 330
Helmut Fischer · Analitika

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

Rendgenski sustav za potpuno automatizirano mjerenje mikrostruktura na waferima do 12 inča.

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

XDV-µ SEMI optimalno je rješenje za potpuno automatiziranu kontrolu mikrostruktura na waferima. Prikladan je za mjerenje debljine i elementnu analizu osnovnih metalizacija u nanometarskom području, C4 lemnih kuglica, lemnih kapica bez olova na bakrenim stupićima, malih kontaktnih površina i 2,5D/3D pakiranja. Usklađen je s relevantnim SEMI standardima i idealan za nadzor procesa u proizvodnji.

Tehnički podaci

Namjena
Wafer do 12 inča; najmanje strukture, vrlo tanki i višeslojni sustavi
Rendgenska cijev
Mikrofokusna cijev Ultra s volframovom anodom (opcijski molibden), 4-struko izmjenjiv filtar
Mjerna točka
Polikapilarna optika, otprilike 10 ili 17 µm (poluširina)
Detektor
Silicijski driftni detektor 20 mm² ili 50 mm², Peltierovo hlađenje
Sučelja
Standardizirana SECS/GEM komunikacija

Slični proizvodi

Zanima vas ovaj proizvod?

Pošaljite upit, a mi ćemo odgovoriti konkretnom ponudom ili savjetom.