Labsys Ljubljana d.o.o.
OpremaPolovna opremaNajamSistemi i testoviRešenjaServisNaša pričaKontaktReferenceNovostiUpit
SR
labsys@labsys.si · +386 1 2862 330
Helmut Fischer · Analitika

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

Rendgenski sistem za potpuno automatizovano merenje mikrostruktura na waferima do 12 inča.

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI

XDV-µ SEMI optimalno je rešenje za potpuno automatizovanu kontrolu mikrostruktura na waferima. Pogodan je za merenje debljine i elementnu analizu osnovnih metalizacija u nanometarskom opsegu, C4 lemnih kuglica, lemnih kapica bez olova na bakarnim stubićima, malih kontaktnih površina i 2,5D/3D pakovanja. Usklađen je sa relevantnim SEMI standardima i idealan za nadzor procesa u proizvodnji.

Tehnički podaci

Namena
Wafer do 12 inča; najmanje strukture, vrlo tanki i višeslojni sistemi
Rendgenska cev
Mikrofokusna cev Ultra sa volframovom anodom (opciono molibden), 4-struko zamenjiv filter
Merna tačka
Polikapilarna optika, otprilike 10 ili 17 µm (poluširina)
Detektor
Silicijumski driftni detektor 20 mm² ili 50 mm², Peltijeovo hlađenje
Interfejsi
Standardizovana SECS/GEM komunikacija

Slični proizvodi

Zanima vas ovaj proizvod?

Pošaljite upit, a mi ćemo odgovoriti konkretnom ponudom ili savetom.