FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ
Najmanjša merilna pega in najvišja natančnost: za majhne ploske komponente in večslojne sisteme.
Več informacijFISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI
Rentgenski sistem za popolnoma avtomatizirano merjenje mikrostruktur na ploščicah (wafer) do 12 palcev.
FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ SEMI
XDV-µ SEMI je optimalna rešitev za popolnoma avtomatizirano kontrolo mikrostruktur na ploščicah. Primeren je za merjenje debeline in elementno analizo osnovnih metalizacij v nanometrskem območju, spajkalnih kroglic C4, spajkalnih kapic brez svinca na bakrenih stebričkih, majhnih kontaktnih površin in pakiranj 2,5D/3D. Skladen je z ustreznimi standardi SEMI in idealen za nadzor procesov v proizvodnji.
Tehnični podatki
- Namen
- Wafer do 12 palcev; najmanjše strukture, zelo tanki in večslojni sistemi
- Rentgenska cev
- Mikrofokusna cev Ultra z volframovo anodo (opcijsko molibden), 4-kratno zamenljiv filter
- Merilna pega
- Poli-kapilarna optika, približno 10 ali 17 µm (polovična širina)
- Detektor
- Silicijev driftni detektor 20 mm² ali 50 mm², Peltierjevo hlajenje
- Vmesniki
- Standardizirana komunikacija SECS/GEM
Podobni izdelki
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ LD
Najmanjša merilna pega pri največji merilni razdalji: za merjenje najmanjših komponent.
Več informacij
FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ PCB
Profesionalna serija za tiskana vezja: zanesljivo in popolnoma samodejno merjenje najmanjših struktur.
Več informacijZanima vas ta izdelek?
Pošljite povpraševanje in odgovorili vam bomo s konkretno ponudbo ali svetovanjem.